現以近年來國內外報道的幾種純凈水設備的制水流程進行解析。公司在上海某超大規模集成電路生產廠中設計的純凈水設備的制備流程該系統由預處理系統、一次純水制造系統、二次純水制造系統及排 某超大規模集成電路生產廠的純凈水設備工藝流程水回收等支系統組成。

　　純凈水設備的預處理系統。根據原水水質，采用凝聚加壓上浮裝置、雙層過濾器及二氧化碳脫氣塔組成。

　　原水中的懸浮物及部分溶解的有機物經凝聚后，因密度小而難于沉降，采用加壓上浮處理可有效去除，后置的雙層過濾器可截留上浮裝置中流出的微細凝聚體，

　　以使原水進一步澄清，通過二氧化碳脫氣塔除去重碳酸根成分以防止后置濃水側膜向上析出碳酸鈣。 b.一次純水系統。該系統由三級RO、脫氧裝置及離子交換柱組成。